SEMI F21潔凈室空降分子污染(AMC)分析
確保您的潔凈室制程車間沒有污染
2025年9月16日,2025潔凈技術高峰論壇在上海召開,作為國際公認的測試、檢驗和認證機構,SGS受邀出席并發表《潔凈室控降分子污染 (AMC)》主題演講,從技術解析到實踐應用,為行業帶來分子級污染管控的專業視角。

SGS微電子服務技術經理River Lee發表主題演講
論壇現場,SGS微電子服務技術經理River Lee開篇即點出潔凈技術領域的核心認知升級 —— 傳統潔凈室測試多聚焦于微粒控制,卻常忽視化學性分子級污染物(AMC)的潛在影響。“在光刻、半導體制造、生物制藥等對環境敏感度極高的領域,即使微量AMC也可能直接影響產品良率與制程穩定性。”River強調,隨著半導體晶圓不斷微小化、平面顯示器尺寸持續擴大,制程產品對微量污染物的耐受閾值愈發嚴苛,AMC管控已從 “可選優化項” 轉變為 “核心剛需項”。

SGS演講現場
AMC管控已經不是單一的測試環節,而是貫穿潔凈室全生命周期的系統工程。科學的監控計劃結合高精度測量方法,是有效評估和控制潔凈室AMC濃度的關鍵。SGS 已形成覆蓋AMC風險評估、測試驗證、方案優化的一站式服務,可根據企業的不同場景,提供專屬技術支持。
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