SEMI F21潔凈室空降分子污染（AMC）分析

SGS配備高端潔凈室、高端分析儀器和全套在線檢測設(shè)備，引進世界先進檢測經(jīng)驗和系統(tǒng)，以及資深采樣和檢測工程師，能夠提供潔凈室空降分子污染（AMC）分析服務(wù)，確保潔凈室制程車間沒有污染，提升產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。

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	SEMI F21潔凈室空降分子污染（AMC）分析

	SGS提供潔凈室空降分子污染（AMC）分析服務(wù)
	確保潔凈室制程車間沒有污染，提升產(chǎn)品生產(chǎn)良率

服務(wù)背景

AMC系指-環(huán)境中有能力沈降于表面上形成單分子層（monolayer）薄膜之氣態(tài)化學污染物質(zhì)。因半導體晶圓越微小化、平面顯示器尺寸巨大化，制程產(chǎn)品正面臨微量污染物嚴重威脅，對于無塵室生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求也越來越嚴謹及重要。現(xiàn)今AMC的污染濃度雖未與目前的潔凈室等級形成直接關(guān)系，但AMC的存在確實對制程有嚴重的影響。

AMC常見來源：

制程中使用的化學品，造成化學濾網(wǎng)效率降低或釋出
鄰近工廠使用含硫有機溶劑排放之有機硫化物
石化制程排放之揮發(fā)性有機物及其光化學反應(yīng)物質(zhì)
大氣中硫氧化物，氮氧化物
潔凈室部分建材、機具、器材等相關(guān)物品所揮發(fā)之VOCs

AMC種類：

服務(wù)內(nèi)容

1. MA、MB：酸性與堿性空降分子污染采樣與分析
2. MC：可沉降物質(zhì)及有機氣體分子采樣與分析
3. MD：參雜性空降分子污染采樣與分析
4. MM：金屬空降分子污染采樣與分析
5. S硫化物分子污染采樣與分析
6. 高效濾網(wǎng)及化學濾網(wǎng)過濾效率分析
7. AMC污染解決方案

解決方案

SGS潔凈室AMC檢測能提供各種模式的服務(wù)：

1. 委托SGS樣品采集分析

客戶沒有現(xiàn)場采樣設(shè)備及采樣經(jīng)驗，可以委托SGS到現(xiàn)場進行采樣與分析，SGS工程師到客戶現(xiàn)場進行采樣可以避免采樣過程的失誤與污染。

2. 客戶自行樣品采集后委托SGS分析

如客戶希望自行采樣，SGS可協(xié)助客戶建立采樣能力，以達到時間與成本的優(yōu)化。

采樣設(shè)備租借、采樣教育訓練課程、采樣能力建置打包方案。

我們的優(yōu)勢

	全球公認的質(zhì)量基準，服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍及全球
	SGS是全球領(lǐng)先的檢驗、鑒定、測試和認證機構(gòu)，是全球公認的質(zhì)量和誠信基準。SGS在全球擁有超過95000名員工及2400多個分支機構(gòu)和實驗室，分布在全球140多個國家和地區(qū)，服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍及全球。
	高級別無塵室環(huán)境，高規(guī)格測試儀器
	SGS半導體超痕量分析實驗室具有符合芯片生產(chǎn)的高級別無塵室環(huán)境（ISO class 4），技術(shù)能力完全為先進制程量身定制；搭配國際品牌最高規(guī)格型號的測試儀器，污染物檢出限可達超痕量級別，為產(chǎn)業(yè)升級定制。
	為半導體產(chǎn)業(yè)鏈制造環(huán)節(jié)提供品質(zhì)管控服務(wù)
	SGS半導體超痕量分析實驗室作為長三角地區(qū)首個外資第三方半導體超痕量分析實驗室，致力為半導體產(chǎn)業(yè)鏈制造環(huán)節(jié)提供品質(zhì)管控服務(wù)，幫助芯片工廠加強產(chǎn)業(yè)鏈原物料的品質(zhì)把控，提升晶圓生產(chǎn)良率，減少缺陷，為中國半導體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展提供服務(wù)支持。
	專家團隊經(jīng)驗豐富，業(yè)務(wù)執(zhí)行快捷高效
	SGS集團在半導體工業(yè)領(lǐng)域服務(wù)具有超過十年的技術(shù)積累，具有經(jīng)驗豐富的專家服務(wù)團隊。業(yè)務(wù)執(zhí)行快捷高效，助力企業(yè)降低風險，簡化流程，提高營運可持續(xù)性。

服務(wù)流程


1. 咨詢客服	2. 申請服務(wù)	3. 支付費用	4. 樣品分析	5. 獲取報告
在線咨詢溝通業(yè)務(wù)需求	確定服務(wù)項目填寫服務(wù)申請單	支付服務(wù)費用并提交開票資料	客戶送樣或SGS現(xiàn)場采樣進行實驗室樣品分析	服務(wù)完成獲取分析報告

備注：1）客戶送樣：SGS可提供樣品瓶和采樣指南，客戶采樣，寄送至SGS實驗室進行分析；
2）SGS現(xiàn)場采樣：SGS工程師現(xiàn)場采樣后，帶回實驗室進行分析。