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SEMI F57超純水和液體 化學品輸送系統的高純度聚合物材料和組件規范 |
| SEMI F57 丨 聚合物和組件性能 | 超純水和液態化學品輸送 |
SEMI是國際半導體產業協會,主要為半導體制程設備提供一套實用的環保、安全和衛生準則,適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設備。半導體先進制程要求工藝使用的超純水,超純化學品的純度越來越高,污染物水平越來越低,用于超純水,超純化學品運輸和儲藏的系統和和部件不能帶入污染。雖然在超純水與化學品的質量都有相對應的標準與規范,大部分都是末端標準,對其各個組件的制造商來說,是無法直接應用。
目前在SEMI系列規范中,SEMI F57:用于超純水和液態化學品輸送系統的聚合物材料及其組件規格,是直接從材料選擇、生產過程、產品結構設計等方方面面進行規范和建議的文件,SEMI F57規定了適用于在超純水分配系統中輸送超純水的超高純度UHP)聚合物材料和部件的最低性能要求,針對聚合物材料和組件的性能和驗證。
● 需要執行SEMI F57的部件
● 離子污染標準
● 金屬污染標準
● 總有機碳 (TOC)標準

● 表面粗糙度標準
SGS 協助聚合物材料及其組件之制造商與化學品與超純水系統供貨商及各大光電半導體廠符合 SEMI F57 以下的測試要求。
●Quantitative Measures of Compliance 定量要求
Particle Contribution Limits 顆粒限值
Metallic Contribution Limits 金屬元素限值
Ionic Contribution Limits 離子限值
Total Organic (Oxidizable) Carbon Contribution Limits 總有機碳限值
Surface Roughness Limits 表面粗糙度限值
●Qualitative Measures of Compliance 定性要求
Mechanical Properties 機械性能
Physical Properties 物理性能
Chemical Resistance 耐化學性
Reliability, Traceability Requirements 可靠性、可追溯性要求
Packaging Requirements, Certification 包裝要求、認證
SGS提供全面的SEMI F57檢測與顧問服務
完整的問題解決
尖端的分析設備
專業的分析人才
潔凈的實驗環境
親切的客戶服務
合理的收費標準
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