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| 針對超純水提供全套超痕量雜質分析服務,以確保您的超純水"超純" | |
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? 客戶現場在線分析 ? 實驗室分析 |
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在半導體制作工藝中,50%以上的工序需要晶圓與超純水直接接觸,80%以上的工序需要進行化學處理,而化學處理又與超純水有關,水中的雜質會進入晶圓,如果帶入過量的雜質,就會導致器件性能下降,影響產品性能。因此,制備高品質的超純水已成為發展大規模集成電路的重要前提技術。
在半導體生產過程中,各種產品對水的純度要求各不相同,通常將純水分為純水和超純水兩種。超純水要求所含的懸浮顆粒直徑在0.45微米以下,細菌數為0~10個/毫升,25℃時電阻率在10兆歐•厘米以上。在國標GB/T 11446電子級水的技術指標顆粒直徑控制甚至比0.1微米更小,25℃時電阻率在18兆歐•厘米以上,I級與II級的雜質要求都是ppt等級。
純水和超純水的雜質主要分為三類:
| - 痕量金屬雜質,容易污染的比如鈉、鉀、鈣、鎂、硼等,同時也需要控制特殊工藝受影響的元素。 - 痕量陰陽離子雜質,如常見的陰離子為氟離子、氯離子、硝酸根、硫酸根、磷酸根等,陽離子如銨根、鋰、鈉、鉀、鎂、鈣等。 - 痕量的有機污染物等。 |
由于雜質要求達到ppt等級時,電導率不再是可以表征超純水中雜質,特別是金屬雜質和陰陽離子雜質的有效手段。只有通過用先進的分析儀器來測定金屬和離子的真實含量,才能了解超純水的真實質量。
和一般的測試不同,超純水對測試系統的要求非常高,包括采樣環境、采樣設備、人員的經驗和樣品運輸,以及測試的時效性都是影響超純水測試結果的重要因素。
SGS配備高端潔凈室、高端分析儀器、超高純度規格的純水系統和全套在線檢測設備,引進世界先進檢測經驗和系統,以及資深采樣和檢測工程師,能夠針對超純水提供全套超痕量雜質分析服務,以確保您的超純水"超純",真正達到超潔凈度要求。
| ┃ 樣品采集 | ▼ |
資深SGS工程師前往客戶現場進行采樣及在線測試,更符合極端水質驗證要求。
SGS提供經驗證的干凈采樣瓶供客戶免費使用,同時提供采樣指引,由客戶采集樣品并寄送樣品到SGS實驗室進行分析,此種是SGS推薦的最佳服務方式,既保證測試結果又節省費用支出。
客戶使用自己的采樣瓶并采集樣品寄到SGS實驗室進行分析,采用這種方式可兼顧客戶對樣品瓶的驗證。
| ┃ 樣品測試 | ▼ |
? 客戶現場在線分析
在線總有機碳(TOC)測試、在線微粒子(Particle)測試、在線電導率測試、在線溶氧測試,及在線細菌采集等。
? 實驗室分析
金屬含量、二氧化硅、陰陽離子、總有機碳(TOC)、微粒子(Particle)、菌落總數、電導率、PH、碳酸根CO?²-、溶氧、可溶解硅等。
| 專業級實驗室及頂尖技術團隊 | |
| SGS擁有完善的測試能力及頂尖的技術團隊,依憑尖端精準的儀器分析設備和潔凈的實驗環境,積累了豐富的測試經驗,確保測試數據準確可靠,為您提供高效、優質的測試服務; | |
| 高質量品質背書 | |
| SGS是國際公認的檢驗、鑒定、測試和認證機構,為您提供高質量品質背書; | |
| 完善的服務網絡 | |
| SGS擁有遍布全球的實驗室網絡,為您提供完善的一站式測試認證解決方案。 |
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1. 咨詢客服 | 2. 申請測試 | 3. 支付費用 | 4. 樣品分析 | 5. 獲取報告 |
在線咨詢 | 確定服務項目 | 支付測試費用 | 客戶寄樣/ | 測試完成 |
* 備注:SGS將提供樣品瓶及采樣指南,以便您順利完成采樣。
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