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        干貨分享 | 藏在潔凈室里的小秘密!

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        原創
        2024-10-18 17:00:00
        技術文章
        作者: SGS_SEMI
        訪問次數: 1295
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        鐵頭,是國內某家電子器件廠的場務工程師,每天忙碌于廠房的大小事務,但他樂在其中。因為他的心中還藏著一個不為人知的小秘密——對同事軒然的暗暗傾慕。

        在廠房內,每個人都穿著全套式的無塵服,鐵頭總是偷偷欣賞軒然那雙水汪汪的大眼睛,因為這是唯一能從無塵衣中露出的部分。

        但鐵頭還是對需要穿全套式無塵服存在不解,于是向領導詢問:“為什么我們不是半導體廠也需要潔凈室生產?還需要穿全套式無塵服?”

        領導告訴鐵頭,說:“隨著科技產品越來越精密,無論是數字芯片、模擬芯片、光電器件還是其他精密儀器,都需要在控制潔凈度的環境下生產,才能確保產品不受微粒、塵埃、微生物和其他污染物的影響。所以我們在一個千級及百級潔凈室內必須穿戴全套式的無塵服。”


        潔凈室潔凈度


        潔凈室,也稱為無塵室,是一種特殊設計和建造的環境,它的主要功能是控制空氣中的微粒、塵埃、微生物和其他污染物的濃度,為制造和科學研究提供極低微粒水平的空氣環境,以確保在其中進行的工作或生產過程不受到外部環境的污染影響。這對于半導體制造、醫藥生產、生物科技等對微細粒子敏感的行業至關重要。此外,潔凈室內的生產設備也需要符合潔凈等級的要求,以避免污染產品和潔凈室。

        潔凈室的潔凈度水平通常根據國際標準和規范進行分類,如ISO 14644-1標準。這個標準將潔凈室分為不同的類別,從Class 1(最低微粒濃度)到Class 9(較高微粒濃度)。潔凈度使用的自動化設備試用評估是參考ISO 14644-14標準。

        ISO14644-1潔凈室利用空調系統的凈化作用將空氣中的懸浮微粒子顆粒濃度 (顆粒/空氣體積) 控制到一定限量以下, 根據空氣中顆粒濃度來劃分潔凈室及相關受控環境中空氣潔凈度的等級 (如下表)

        表


        ISO 14644-14 設備評估基于ISO14644-1基礎上,可依照以下流程進行評估:

        流程


        SGS服務內容

        潔凈室設計與建造

        • 設計圖制作 
        • 建造 (含空調確效)
        • 次系統 - 超純水系統、壓縮空氣系統建置
        • 改善工程

        潔凈室訓練與顧問

        • 代稽核供貨商潔凈室
        • 潔凈室現場評估與改善建議
        • 潔凈室訓練課程
        • 建置潔凈室管理系統與文件

        潔凈室量測與確認

        • ISO14644-1 潔凈室等級確認 (HVAC system validation) 與符合性證書
        • ISO14644-2 潔凈室連續符合性確認
        • ISO14644-8 / SEMI F21 空降分子污染(AMC)
        • ISO14644-14 生產設備在潔凈室使用適用性評估(微粒逸散濃度)
        • ISO8573 壓縮空氣潔凈等級量測
        • ISO3696 超純水品質量測
        本文著作權歸SGS所有,商業轉載請聯系獲得正式授權,非商業請注明出處

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