干貨分享 | 你的Local Scrubber真的能有效處理制程尾氣嗎？

在全球ESG議題持續升溫的背景下，我國《中華人民共和國環境保護法》及《大氣污染防治法》已針對生產及含VOCs（揮發性有機物）產品的污染防治制定明確規范。

半導體產業作為高科技制造業的核心，其制程環節——包括清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等——均會產生或殘留大量廢氣，涵蓋酸堿性氣體、有毒氣體及臭氧等危害性成分。隨著工藝技術不斷精進，廢氣種類與排放量亦隨之增加，若未經妥善處理直接排放，不僅對環境造成嚴重污染，更可能引發AMC分子污染問題，影響先進半導體制程的穩定性與產品良率。

Local Scrubber：半導體制程尾氣的關鍵防線
在半導體制程中，反應腔體（Chamber）或真空管路排出的殘余氣體需先經尾氣處理設備Local Scrubber初步處理，再排入Central Scrubber。

Local Scrubber根據處理氣體的不同，設計有瓦斯或電漿燃燒式、水洗式、吸附式等多種類型。由于半導體制造中會使用大量特殊氣體，這些氣體使用后殘余或反應生成的新特殊氣體，若不及時通過Local Scrubber去除，可能導致氣體泄漏、聚積、風管堵塞、管路腐蝕，甚至引發火災爆炸，危害現場工作人員安全。

為什么需要關注DRE？
新安裝的Local Scrubber設備需通過SEMI S2/S6認證，但長期運行中，其DRE（Destruction Removal Efficiency）的持續穩定才是核心指標。通過對氣體使用量、殘余量、去除量及排放量的系統性分析，可帶來以下效益：

1. 優化氣體用量，降低成本
從氣體使用量與殘余量來看，通過分析可判斷氣體用量是否過多，進而在不影響制程的前提下調整用量。這不僅能節省成本，減少殘余氣體量，還能降低 Local Scrubber 的處理負荷，實現節能并延長設備使用壽命。

2. 節能降耗，提升處理效率
就殘余量與去除量而言，Local Scrubber 屬于高耗能設備，若能在確保達到預期 DRE 的前提下，適當調整瓦斯流量參數或電漿功率，將有效實現節能。

3. 避免Central Scrubber超載
關注排放量，可確保經 Local Scrubber 處理后的廢氣排入 Central Scrubber 管路時更安全，避免 Central Scrubber 超出處理負荷。

SGS專業解決方案：讓尾氣處理更可靠
SGS作為國際公認的測試、檢驗和認證機構，提供以下Local Scrubber尾氣處理效能分析與咨詢服務：

• Local Scrubber 除害效率檢測
• 環境中異味分析檢測
• 風管排放組成分析檢測
• Process Gas監測及其Clean End Point量測
• 制程氣體使用減量專案