ISO14644-14自動化設(shè)備動態(tài)微粒子評估無塵室等級適用性

目前，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)隨著制程的精進都已發(fā)展到納米級水平，換言之，只要一顆微塵粒子掉落在制程或線路中就有可能導(dǎo)致整批產(chǎn)品異常或報廢，因此這些作業(yè)需要在潔凈室內(nèi)進行。不同制程對應(yīng)不同等級的潔凈室，不同的產(chǎn)業(yè)相對也會有不同等級的潔凈室需求。設(shè)置潔凈室的目的是為了能避免微塵粒子影響到產(chǎn)品。

隨著產(chǎn)能的增加以及對出貨的速度要求，自動化設(shè)備變成了一種趨勢，不但廣泛的應(yīng)用在各種產(chǎn)業(yè)，多半都放在潔凈室內(nèi)且有的可能會與產(chǎn)品近距離的接觸，如機械手臂、自動搬運車、線性滑軌、模塊自動夾爪等，這些自動化設(shè)備所產(chǎn)生的微塵粒子就會直接影響產(chǎn)品的良率。

潔凈室設(shè)備微粒濃度適用性的評估ISO14644-14

為有效管控無塵室的潔凈度等級，ISO14644不再只針對環(huán)境進行測試要求，為避免設(shè)備運作時有可能產(chǎn)生發(fā)塵而直接影響污染產(chǎn)品風險，因此ISO14644-14提出對進入潔凈室的各類機具設(shè)備進行其發(fā)塵量的等級評估。

例如，機械手臂、無人搬運車、各式滑臺、夾爪都有可能置入潔凈室進行搬運或夾取等作業(yè)，其在運轉(zhuǎn)過程中有可能直接與產(chǎn)品進行接觸，一但設(shè)備因熱、擦而產(chǎn)生發(fā)塵，或因使用后而產(chǎn)生的靜電效應(yīng)造成微粒子吸附現(xiàn)象，不但會直接污染產(chǎn)品，甚至也可能會造成環(huán)境污染。

為避免設(shè)備運作產(chǎn)生發(fā)塵污染產(chǎn)品，需根據(jù)14644-14對進入潔凈室的各類機具設(shè)備進行其發(fā)塵量的等級評估。

客制化模擬試驗

1. 測試環(huán)境符合比使用設(shè)備的潔凈室或潔凈區(qū)至少干凈一個ISO N級（參照ISO14644-1等級）。
2. 氣流速度垂直速度的指導(dǎo)范圍符合在3m/s至0.5m/s的范圍內(nèi)。
3. 溫度執(zhí)行范圍符合18°C至25°C內(nèi)。
4. 濕度執(zhí)行范圍符合30%RH至70%RH。
5. 評估高顆粒濃度particle的測量位置。
6. 評估哪些位置應(yīng)包括在最終測量。

提供專業(yè)項目報告

SGS提供各式機具與設(shè)備進行模擬在潔凈室內(nèi)實際運作狀態(tài)下，進行發(fā)塵量測試，以評估其機具設(shè)備適用潔凈室之等級，協(xié)助各家廠商進行無塵動態(tài)模擬發(fā)塵量測試。

1. 前置準備：雙層包裝、客戶運送、SGS提供空間及設(shè)備
2. 動態(tài)測試：測試點位、取樣區(qū)間、尺寸/電源
3. 回復(fù)測試：停止作動
4. 退樣及報告：項目報告、客戶運送