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ISO14644-14自動化設備動態微粒子評估無塵室等級適用性

ISO14644-14自動化設備動態微粒子評估無塵室等級適用性

SGS提供各式機具與設備進行模擬在潔凈室內實際運作狀態下，進行發塵量測試，以評估其機具設備適用潔凈室之等級，協助各家廠商進行無塵動態模擬發塵量測試。

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	ISO14644-14
	自動化設備動態微粒子評估無塵室等級適用性

	SGS提供各式機具與設備進行模擬在潔凈室內實際運作狀態下
	進行發塵量測試，以評估其機具設備適用潔凈室之等級，協助各家廠商進行無塵動態模擬發塵量測試

服務背景

目前，半導體產業隨著制程的精進都已發展到納米級水平，換言之，只要一顆微塵粒子掉落在制程或線路中就有可能導致整批產品異常或報廢，因此這些作業需要在潔凈室內進行。不同制程對應不同等級的潔凈室，不同的產業相對也會有不同等級的潔凈室需求。設置潔凈室的目的是為了能避免微塵粒子影響到產品。

隨著產能的增加以及對出貨的速度要求，自動化設備變成了一種趨勢，不但廣泛的應用在各種產業，多半都放在潔凈室內且有的可能會與產品近距離的接觸，如機械手臂、自動搬運車、線性滑軌、模塊自動夾爪等，這些自動化設備所產生的微塵粒子就會直接影響產品的良率。

潔凈室設備微粒濃度適用性的評估ISO14644-14

為有效管控無塵室的潔凈度等級，ISO14644不再只針對環境進行測試要求，為避免設備運作時有可能產生發塵而直接影響污染產品風險，因此ISO14644-14提出對進入潔凈室的各類機具設備進行其發塵量的等級評估。

例如，機械手臂、無人搬運車、各式滑臺、夾爪都有可能置入潔凈室進行搬運或夾取等作業，其在運轉過程中有可能直接與產品進行接觸，一但設備因熱、擦而產生發塵，或因使用后而產生的靜電效應造成微粒子吸附現象，不但會直接污染產品，甚至也可能會造成環境污染。

為避免設備運作產生發塵污染產品，需根據14644-14對進入潔凈室的各類機具設備進行其發塵量的等級評估。

服務內容

客制化模擬試驗

1. 測試環境符合比使用設備的潔凈室或潔凈區至少干凈一個ISO N級（參照ISO14644-1等級）。
2. 氣流速度垂直速度的指導范圍符合在3m/s至0.5m/s的范圍內。
3. 溫度執行范圍符合18°C至25°C內。
4. 濕度執行范圍符合30%RH至70%RH。
5. 評估高顆粒濃度particle的測量位置。
6. 評估哪些位置應包括在最終測量。

解決方案

6.2.2 Requirements and considerations	要求和注意事項
6.2.3 Representative mode of operation	執行方式的代表性
6.2.4 Considerations for the test environment	測試環境的注意事項
6.2.5 Determination of the test environment	確定測試環境
6.2.6 Approximate identification of HPC location（s）	粗略HPC位置的標示
6.2.7 Precise determination of HPC location（s）	精確確定HPC位置
6.2.8 Suitability measurement（s）	適宜性測量
6.2.9 Data processing	數據處理
6.2.10 Reference to ISO 14644-1 classification system	參考ISO 14644-1分類
7 Documentation	文獻資料
8 Statement on cleanroom suitability	潔凈室適用性聲明

我們的優勢

提供專業項目報告

SGS提供各式機具與設備進行模擬在潔凈室內實際運作狀態下，進行發塵量測試，以評估其機具設備適用潔凈室之等級，協助各家廠商進行無塵動態模擬發塵量測試。

一般測試報告	項目報告
基本信息：報告編碼/測試日期/客戶信息/測試方法（僅名稱）	封面（測試名稱及報告編碼）
實驗室主管簽名	測試時程/測試地點（實驗室地址）
數據結果（不含判定）	測試樣品信息（樣品名稱，批號...等，可選擇輸入項目）
	測試人員簽名/實驗室主管簽名
	試驗目的/試驗設計及測試步驟
	數據結果（不含判定，若要設允收，客戶需提供合格范圍）
	樣品照片（特殊照片需事先說明）

服務流程

1. 前置準備：雙層包裝、客戶運送、SGS提供空間及設備
2. 動態測試：測試點位、取樣區間、尺寸/電源
3. 回復測試：停止作動
4. 退樣及報告：項目報告、客戶運送

常見問題

為什么要測試發塵量?

自動化設備如果潔凈度不足或耐用性不佳，容易造成發塵量過高或產出一些離子類金屬類或有機類化合物之污染物。這些污染物可能因為使用后產生的靜電效應造成微粒子吸附現象。設計不良或材質不佳的自動化設備品除了可能影響潔凈室效能外，更會直接或間接造成產品的污染。

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