SGS硅材、靶材和稀土材料純度測試服務

SGS配備高端潔凈室、高端分析儀器和全套在線檢測設備，引進世界先進檢測經驗和系統，以及檢測工程師，提供針對半導體工業用硅材和靶材提供成分和雜質的測定服務

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	SGS硅材、靶材和稀土材料純度測試
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業務挑戰

硅材是重要的半導體材料，化學元素符號Si，半導體工業上使用的硅應具有高純度和優良的電學和機械等性能。

硅材一般以多晶硅或單晶硅存在，用于芯片制造之前會通過拉晶，切片等工藝制成硅片，硅材的純度，雜質的含量對最終晶圓的質量起決定性影響。

靶材，定義為靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，材料通過濺射到不同的基體，形成特定電性質，物理性質的金屬膜材料，在半導體晶圓制造中，200mm( 8寸)及以下晶圓制造通常以鋁制程為主，使用的靶材以鋁、鈦元素為主。300mm( 12寸)晶圓制造，多使用先進的銅互連技術，主要使用銅、鉭靶材。

靶材的純度，直接影響半導體制程和產品的良率。

稀土材料，約占36%儲藏在中國。稀土金屬，稀有金屬和稀散金屬組成了三稀金屬，應用在工業領域的各個方面，尤其是半導體產業。比如第二代半導體材料砷化鎵，碲化銦，第三代半導體材料氮化鎵等，稀土金屬也被用作拋光材料，氧化鈰是拋光粉最常用的材料，在半導體靶材領域，相當一部分採用的是鉭靶、鉬靶、鎢靶等為主。

稀土材料在半導體領域的應用上, 純度要求與不純物的管控相當重要。