精彩回顧 | SGS成功舉辦半導(dǎo)體AMC環(huán)境監(jiān)測(cè)與質(zhì)控研討會(huì)

2025年3月28日，SGS成功舉辦了“半導(dǎo)體AMC氣相分子污染物環(huán)境監(jiān)測(cè)與質(zhì)控研討會(huì)”。本次研討會(huì)匯聚了來(lái)自半導(dǎo)體行業(yè)的企業(yè)代表、專家學(xué)者以及相關(guān)從業(yè)人員，共同探討如何應(yīng)對(duì)AMC（氣相分子污染物）對(duì)制程良率的隱形威脅，推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)在AMC監(jiān)測(cè)與治理領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步與合作，為提升行業(yè)整體水平提供有力支持。

研討會(huì)與會(huì)人員合影

隨著半導(dǎo)體工藝的快速革新，AMC氣相分子污染物對(duì)高端芯片制造構(gòu)成嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)與控制AMC成為行業(yè)亟待解決的關(guān)鍵問(wèn)題。本次研討會(huì)匯聚行業(yè)專家，共同探討半導(dǎo)體行業(yè)微環(huán)境監(jiān)測(cè)與治理的有效方案，助力企業(yè)應(yīng)對(duì)成本與技術(shù)雙重挑戰(zhàn)。

研討會(huì)現(xiàn)場(chǎng)

研討會(huì)伊始，歐洲科學(xué)院院士、復(fù)旦大學(xué)特聘教授陳建民，TOF-WERK首席運(yùn)營(yíng)官Christoph Eggimann，以及國(guó)家技術(shù)轉(zhuǎn)移東部中心副總裁朱江分別發(fā)表了開(kāi)場(chǎng)致辭，為研討會(huì)拉開(kāi)了精彩序幕。

開(kāi)場(chǎng)致辭

會(huì)上，數(shù)位業(yè)內(nèi)資深專家?guī)?lái)了精彩紛呈的演講。從SGS李宗河對(duì)半導(dǎo)體環(huán)境離線AMC測(cè)試方法的細(xì)致介紹，到復(fù)旦大學(xué)王麗娜關(guān)于生產(chǎn)環(huán)境AMC污染控制研究綜述；從Tofwerk China譚穩(wěn)分享的快速質(zhì)譜實(shí)時(shí)檢測(cè)應(yīng)用，到清正節(jié)能田松對(duì)錳基多元催化劑的應(yīng)用初探，以及復(fù)旦大學(xué)林景新博士關(guān)于大氣中氣態(tài)PFAS檢測(cè)的講解，演講內(nèi)容圍繞AMC監(jiān)測(cè)方法、污染控制、新技術(shù)應(yīng)用等多個(gè)關(guān)鍵方向，為與會(huì)者呈現(xiàn)了全面且深入的知識(shí)盛宴。

嘉賓發(fā)表主題演講

在熱烈的學(xué)術(shù)氛圍中，現(xiàn)場(chǎng)互動(dòng)交流環(huán)節(jié)氣氛活躍。參會(huì)人員踴躍提問(wèn)，與演講嘉賓就技術(shù)難點(diǎn)、行業(yè)趨勢(shì)等問(wèn)題展開(kāi)深入探討。此外，研討會(huì)還安排了參觀上海綠色國(guó)際低碳概念驗(yàn)證中心，讓與會(huì)者在實(shí)地體驗(yàn)中進(jìn)一步加深對(duì)相關(guān)技術(shù)與應(yīng)用場(chǎng)景的理解。

現(xiàn)場(chǎng)交流/參觀

本次研討會(huì)不僅為半導(dǎo)體行業(yè)專業(yè)人士提供了一個(gè)交流最新研究成果和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的平臺(tái)，也為解決AMC污染問(wèn)題、推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入了新動(dòng)力。未來(lái)，SGS將持續(xù)關(guān)注AMC檢測(cè)技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的創(chuàng)新與應(yīng)用，助力半導(dǎo)體行業(yè)在應(yīng)對(duì)環(huán)境挑戰(zhàn)、提升產(chǎn)品質(zhì)量等方面不斷取得新突破。