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SEMI F21潔凈室空降分子污染（AMC）分析
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邀請函 | SGS半導體AMC氣相分子污染物環境監測與質控研討會
原創
2025-03-07 20:48:00
展會及研討會
作者： SGS_SEMI
訪問次數： 1231
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質控AMC · 智局新凈界
半導體AMC氣相分子污染物環境監測與質控研討會
時間：2025年3月28日 13:00-16:30
地點：上海國際綠色低碳概念驗證中心
半導體工藝的革新正以前所未有的速度推動產業升級，然而，AMC(氣相分子污染物)對制程良率的隱形威脅，已成為橫亙在高端芯片制造領域的嚴峻挑戰，如何實現AMC的精準監測與控制，不僅關乎企業成本，更是半導體行業當前亞待解決的重要課題。
值此全球半導體風向標——上海國際半導體展覽會（SEMICON China 2025）舉辦之際，SGS攜手復旦大學、上海國際綠色低碳概念驗證中心共同舉辦“半導體AMC氣相分子污染物的環境監測與質控研討會”。本次研討會將匯聚行業專家，共同探討半導體行業微環境監測與治理的行業經驗與愿景，深入分析AMC污染問題及其解決方案，為行業發展提供有力支持。
誠摯邀請您的參與！
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時間 |
會議議程 |
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13:00-13:30 |
會議簽到 |
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13:30-13:40 |
領導致辭 |
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13:40-14:10 |
半導體環境的離線AMC測試方法介紹 ——李宗河，SGS半導體超痕量實驗室 技術經理 |
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14:10-14:40 |
從監測到凈化：半導體生產環境AMC污染控制研究綜述 ——王麗娜，復旦大學 環境科學與工程系研究員 |
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14:40-15:20 |
參觀復旦東部研究中心實驗室/茶歇 |
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15:20-15:50 |
快速質譜在實時檢測 AMC氣態污染物的應用分享 ——譚穩，Tofwerk China/南京拓服工坊 高級技術經理 |
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15:50-16:20 |
半導體環境針對AMC污染的治理方法和措施 |
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16:20-16:30 |
研討會結束 |
嘉賓價紹
李宗河-SGS半導體超痕量實驗室 技術經理
20多年半導體檢測品質保證經驗,精通半導體廠房、設備及原物料的潔凈度評估、采樣分析、實驗室分析、解決方案,為臺積電、ASML、東京威力、日月新、盛美半導體、中芯國際、APPLE等500+海內外廠商提供專業服務與咨詢。
王麗娜-復旦大學 環境科學與工程系研究員
復旦大學環境科學與工程系研究員、博士生導師，長期致力于環境健康與解決方案研究，擔任上海市室內環境凈化行業協會副會長，中國分析測試協會質譜分會委員，《中國環境科學》青年編委。
譚穩-Tofwerk China/南京拓服工坊 高級技術經理
博士，在挪威奧斯陸大學和瑞士Tofwerk AG公司工作多年，長期從事化學電離質譜技術在氣態揮發性有機物和無機物的監測應用工作，目前已發表30多篇氣態污染物監測相關SCI論文，授權發明專利3項，參與編制多項行業標準。
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