技術(shù)干貨 | 半導(dǎo)體器件失效分析的高效診斷技術(shù)——IV曲線測(cè)試

IV曲線測(cè)試，是一種重要的電子元器件性能評(píng)估方法，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，尤其在集成電路失效分析中發(fā)揮著重要作用。它可以用于測(cè)試各種類型的半導(dǎo)體器件，例如IC芯片、二極管、晶體管、MOS管、被動(dòng)元器件等。通過(guò)IV曲線測(cè)試，我們可以快速篩選出不良品，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。

IV曲線測(cè)試原理
IV曲線測(cè)試，即電流-電壓特性曲線測(cè)試，基于歐姆定律，通過(guò)測(cè)量不同電壓和電流下的電流和電壓值，繪制出電流與電壓之間的關(guān)系曲線。這種測(cè)試可以快速揭示器件的電性失效模式，如短路、斷路、漏電和高阻等異常情況，為后續(xù)失效分析提供重要的數(shù)據(jù)參考。

如何進(jìn)行IV curve曲線測(cè)試？

（ 1 ）選擇測(cè)試設(shè)備

使用KEITHLEY 2636B數(shù)字電源/ Keysight B1500A和Probe探針臺(tái)搭配對(duì)失效器件進(jìn)行腳位連接測(cè)試。

2636B數(shù)字電源



Probe探針臺(tái)

（ 2 ）確認(rèn)測(cè)試條件

在測(cè)試前，確認(rèn)失效器件規(guī)格書、Pin腳定義圖、待測(cè)腳位限壓限流值、電壓步進(jìn)Step。

（ 3 ）數(shù)據(jù)處理與分析

測(cè)試結(jié)束后，‌對(duì)采集到的電流和電壓數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，‌繪制出IV特性曲線。‌通過(guò)曲線可以直觀地觀察到失效器件在不同電流和電壓下的性能表現(xiàn)。

IV curve曲線測(cè)試作用
IV Curve曲線測(cè)試在失效分析中主要對(duì)失效器件進(jìn)行電性能測(cè)試及電性復(fù)現(xiàn)，通過(guò)與正常器件的IV曲線對(duì)比，可以發(fā)現(xiàn)失效器件的電性差異，從而確定失效的具體模式。

常見(jiàn)的電性失效模式

• 短路
  指電路中的電阻減小，導(dǎo)致電流突然變大，從而改變電流路徑，可能導(dǎo)致設(shè)備或系統(tǒng)的功能異常或損壞。
  
  

測(cè)試示意圖