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技術(shù)干貨 | 潔凈室設(shè)計全攻略，打造高效無塵環(huán)境
原創(chuàng)
2024-06-27 17:00:00
技術(shù)文章
作者： SGS_SEMI
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潔凈室作為一種高潔凈度環(huán)境，廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)，主要分為工業(yè)類潔凈室 (ICR) 和生物技術(shù)類潔凈室 (BCR) 兩大類：
- 工業(yè)類潔凈室 (ICR)
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、面板、電子、汽車、精密機械等行業(yè)，更注重工藝上的需求，例如控制生產(chǎn)環(huán)境中的微粒粒徑和濃度，以達到產(chǎn)品的潔凈程度。 - 生物技術(shù)類潔凈室 (BCR)
主要應(yīng)用于制藥、醫(yī)療器械、醫(yī)療、化妝品、食品等行業(yè)，法規(guī)要求較多，例如PIS/GMP、P2、ISO13485等，需要嚴(yán)格控制環(huán)境中的微生物和微粒，確保產(chǎn)品質(zhì)量和安全。
潔凈室設(shè)計要點
潔凈等級是設(shè)計潔凈室最基本的前提，此外還需要考量以下設(shè)計要點：
- 場地大小
- 法規(guī)要求 (建筑、消防等)
- 成本估算
- 時標(biāo)評估
- 預(yù)期項目復(fù)雜程度
- 設(shè)計方案比較（對比不同設(shè)計方案優(yōu)劣勢，選擇最優(yōu)方案）
- 設(shè)施維護要求
- 設(shè)施靈活性
- 設(shè)施備用能力
- 設(shè)計可建設(shè)性
- 品質(zhì)計劃
潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計
經(jīng)過評估，一旦選定符合需求的設(shè)計院并設(shè)計出潔凈室的原圖，且該設(shè)計圖獲得相關(guān)管理單位的審批后，接下來需要針對潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)設(shè)置進行如下決策：
- 潔凈室形式（層流或非層流）
- 潔凈室潔凈等級
- 潔凈室氣流沉降模式
- 潔凈室氣流循環(huán)次數(shù)
- 潔凈室氣流方向及氣壓差
- 其他需求
經(jīng)過上述評估及審批流程后，可以規(guī)劃并決定潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的具體設(shè)置，包括是否需要采用高架形式、確定FFU的數(shù)量、MAU的大小以及冷熱主機的功率等。潔凈室的設(shè)計至關(guān)重要，若潔凈等級未能達標(biāo)，將無法滿足法規(guī)要求及工藝需求。然而，若潔凈等級要求過于超標(biāo)，不僅可能使建造成本成倍增加，還會導(dǎo)致日后的維護保養(yǎng)費用上升，日常運作也會更加耗能。
潔凈室檢測與維護
在確認(rèn)潔凈室是否能達到預(yù)期的潔凈等級時，必須進行相應(yīng)的檢測工作。這一過程可以參照ISO 14644國際標(biāo)準(zhǔn)，對潔凈室的以下三種狀態(tài)進行確認(rèn)：
- 空態(tài)As-built cleanroom（剛完工的無塵室）
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力已接通并處于運行狀態(tài)，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料或人員在場。 - 靜態(tài)At-rest cleanroom（準(zhǔn)備中的無塵室）
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已安裝，并以用戶和供應(yīng)商共同商定的方式運行，但無人員在場。 - 動態(tài)Operational cleanroom（操作中的無塵室）
設(shè)施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定數(shù)目的人員在場，并以雙方同意的方式進行工作。
此外，運行中的潔凈室需要定期(半年/一年)進行連續(xù)的相符性測試和監(jiān)測。
SGS提供潔凈室全方位服務(wù)
- 設(shè)計與建造
提供設(shè)計圖制作、建造（含空調(diào)效能驗證）、改善工程等咨詢服務(wù)。 - 訓(xùn)練與顧問
提供供應(yīng)商潔凈室審核、潔凈室培訓(xùn)課程和潔凈室管理文件等服務(wù)。 - 量測與確認(rèn)
提供潔凈室驗收測試、空調(diào)系統(tǒng)效能驗證、連續(xù)符合性評估、超純水和壓縮空氣品質(zhì)檢測、潔凈室設(shè)備符合性評估等服務(wù)。
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