技術干貨 | 為什么CDA 中的油份含量會超標？

CDA，全稱Compression Dryer Air（壓縮干燥空氣），在各行各業的工業制程中，特別是電子、半導體、面板以及生技制藥等精密制程領域，得到了廣泛應用。在這些行業中，壓縮空氣的潔凈度至關重要。CDA系統根據用途的不同，可分為P-CDA（用于分類、包裝、測試、處理、組裝、蝕刻、清潔等儀器使用）、D-CDA（用于氣動設備儀控驅動）以及B-CDA（用于工安防護具呼吸）。其中，P-CDA在制程清潔與干燥方面的應用尤為關鍵。由于壓縮空氣會直接且大量地接觸到產品和設備，并釋放到潔凈室中，因此除了需要控制室內的溫度和濕度外，還必須嚴格消除任何灰塵或其他污染物。如果供氣源含有水分和細微顆粒，將會對制程中的精密產品造成污染，甚至影響無塵室的整體環境。因此，CDA的微污染控制已成為無塵室管理不可或缺的重要環節。

在制定影響制程良率的重要指標時，針對CDA微污染控制，我們可以在ISO 8573方法的基礎上，結合SEMI F21 AMC管控項目來進行全面評估。這些關鍵指標包括：

• 重金屬元素分析
• 油份含量（總碳氫化合物）分析
• 微粒子數分析（0.1um~10um）
• 酸堿氣體含量分析（陰陽離子）
• 水份及露點分析
• 其他有機污染物分析
• CO/CO2/NOx/SOx/H2S
• 過濾效率評估（ISO 12500）

油份含量超標的原因
很多廠商在控管油份含量（總碳氫化合物）時，常常發現其實際值超出了預設的標準。在CDA中的油份含量的主要來源包括以下幾個方面：

1. CDA環境的空氣來源：當CDA系統從環境中抽取空氣時，如果空氣中含有碳氫化合物分子，這些分子在經過壓縮機多倍壓縮后，往往會導致CDA中的油份（油氣）指標超標。
2. 空壓機設備本身貢獻：通常情況下，空氣壓縮機在運行過程中需要使用一定量的潤滑油。盡管市面上存在宣稱少油或無油的空壓機，但這類設備是否真的對油份（油氣）零貢獻，還需通過實驗來驗證。
3. 末端使用點的管路施工殘余或泄露：CDA系統到末端使用點還需要經過幾百米長的氣體管路，這段長達幾百米的氣體管路需要確保不泄露，并且管路材質必須保持潔凈，這樣才能保證末端使用點的CDA品質符合要求。
   
   

油份含量超標解決方式

• 選擇優良并有控制的空氣來源
• 確認CDA設備本身對油份（油氣）是零貢獻
• 確認氣體管路潔凈度
• 使用 CDA專用的過濾器（針對水汽、油汽、Particle 三道過濾程序）

SGS為您提供以下專業服務

• 重金屬元素分析
• ISO 8573-5油份含量（總碳氫化合物）分析
• ISO 8573-微粒子數分析（0.1um~10um）
• ISO 8573-7 微生物（總菌）分析
• ISO 8573-水份及露點分析
• SEMI F21酸堿氣體含量分析（陰陽離子）分析
• SEMI F21 有機污染物化合物種類分析
• SEMI F21金屬含量分析
• CO/CO2/NOx/SOx/H2S含量分析
• CDA過濾器的效率評估（ISO 12500）